滑閥式真空泵，全稱滑閥式油封機械真空泵，簡稱滑閥泵，同旋片泵一樣，是一種變容積式氣體傳輸泵，其應用范圍和使用條件也與旋片泵基本相同。

滑閥式真空泵由于其結構特點，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地應用與大型真空設備上。滑閥式真空泵的基本類型也分為單級與雙級兩種類型。其中單級泵中的小泵極限壓力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均關氣鎮）；雙級泵的極限壓力不大于0.06Pa（關氣鎮）。抽速大于150L/s的滑閥式真空泵多采用單級形式。

由于滑閥式真空泵旋轉質量有較大偏心，沒有好的質量平衡，在運轉時會產生較大振動。同時由于滑閥泵的旋轉質心運動軌跡是復雜的封閉曲線，因此很難實現對滑閥泵慣性力的完全平衡。這就限制了滑閥式真空泵的轉數，一般控制在350～600r/min，個別的可達到1000r/min以上。

二、滑閥式真空泵的工作原理與結構

1、滑閥式真空泵的工作原理

滑閥式真空的主要結構包括泵體、偏心輪、滑閥組件和導軌等，干式螺桿真空泵廠家珂勒曦以圖例的方式為大家展現其簡易工作原理。

如圖，與泵腔同心的驅動軸帶動偏心輪旋轉，偏心輪帶動滑閥環運動，使滑閥桿在導軌上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當驅動軸按圖中所示方向轉動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經入口、滑閥桿（A腔一側開口）進入A腔，此時處于吸氣過程。滑閥繼續順時針向左上位置運轉，A腔容積達到最大時，進氣口與A腔隔絕，吸氣過程結束，與此同時，B腔容積處于不斷的減小、壓縮氣體的過程。當B腔氣體壓力達到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當滑閥處于正上方的位置時，排氣結束（A腔容積也處于最大），新一輪的循環過程開始。

2、滑閥式真空泵的結構特點

如圖一所示，滑閥式真空泵的主要結構包括了泵體、偏心輪、滑閥環、滑桿、導軌等一系列組件。與旋片式真空泵類似，滑閥泵也設有氣鎮閥，氣鎮孔開在排氣口附近或端蓋上，以排除含可凝性蒸氣的氣體，并在泵出口設置有油氣分離器，減少泵油的損耗和對環境的污染。

下圖是典型的滑閥式真空泵結構圖。

除了單雙級的區分外，滑閥式真空泵還有單缸、雙缸、三缸的區分，其中三缸滑閥泵較好地解決了滑閥的質量平衡，使泵的振動得到了較好改善，轉速也相對較高。

三、滑閥式真空泵的應用要點

滑閥式真空泵與旋片式真空泵一樣可單獨使用，同時也可作為擴散泵、油增壓泵、羅茨泵等真空泵的前級泵使用，與旋片泵相比滑閥泵更為耐用，在真空鍍膜、真空熱處理、真空燒結、分子蒸餾、航空模擬實驗的領域使用較多。但在遇含水蒸氣、粉塵等介質環境，需加裝過濾裝置，也無法用于易燃易爆氣體環境以及壓縮輸送氣體。同時受限于油封式機械真空泵的特點，在一些清潔環境領域，如半導體、石化等，適用性不及一些干式真空泵。